Samsung Electronics đang thử nghiệm các mặt nạ trống EUV nội địa của S&S Tech (101490) trong môi trường sản xuất hàng loạt của nhà máy đúc 4nm của mình. Đây là lần đầu tiên các mặt nạ này được giới thiệu trên dây chuyền sản xuất thực tế

Mục tiêu là giảm phụ thuộc vào Hoya của Nhật Bản, tăng cường khả năng chống chịu của chuỗi cung ứng và có thêm quyền định giá
Samsung đã được cho là đã phản hồi S&S Tech để cải thiện chất lượng, trong khi S&S Tech đã đầu tư lớn vào thiết bị kiểm tra và một nhà máy mới tại Yongin để hỗ trợ nỗ lực này. Nếu quá trình địa phương hóa thành công, Samsung có thể tiết kiệm hàng chục tỷ won mỗi năm và rút ngắn thời gian giao hàng, mặc dù các đơn hàng sản xuất hàng loạt vẫn có thể mất từ sáu tháng đến hơn một năm
"Tôi hiểu rằng các mặt nạ của S&S Tech đang được sử dụng trong quá trình EUV, vốn ít đòi hỏi hơn kể cả trong nút 4nm, một nguồn tin trong ngành cho biết. Việc họ thử nghiệm mẫu trên dây chuyền sản xuất thực tế cho thấy cam kết mạnh mẽ đối với địa phương hóa." Người này bổ sung rằng Samsung nhằm giảm phụ thuộc vào Hoya của Nhật Bản và theo thời gian, đảm bảo quyền định giá lớn hơn
Mặt nạ trống là vật liệu nền dùng để tạo mặt nạ quang học chuyển đổi các mẫu mạch lên wafer trong quá trình sản xuất bán dẫn. Thông thường, nó được làm bằng cách phủ một lớp mỏng kim loại hoặc hợp chất lên một nền thủy tinh tinh khiết cao. Các nhà chế tạo chip sau đó khắc các mẫu mạch lên mặt nạ trống để tạo ra mặt nạ quang học cuối cùng
Mặt nạ trống EUV khác biệt rõ rệt so với các sản phẩm ultraviolet sâu, hay DUV, truyền thống. Mặt nạ trống DUV là trong suốt, nghĩa là ánh sáng cực tím đi qua nền để tạo mẫu trên wafer. Trong khi đó, mặt nạ trống EUV phản xạ, nghĩa là ánh sáng cực tím cực cao phản xạ thay vì truyền qua. Chúng được làm bằng cách xen kẽ hàng chục lớp, khoảng 40 cặp, molybdenum và silicon trên nền thủy tinh. Do bước sóng ngắn của EUV, ngay cả các lỗi cực nhỏ cũng có thể rất quan trọng, khiến cả quá trình sản xuất và kiểm tra trở nên khó khăn hơn nhiều
Đầu năm ngoái, S&S Tech đã đầu tư hơn 40 tỷ won vào thiết bị kiểm tra của Lasertec của Nhật Bản cho dây chuyền mặt nạ trống EUV của mình. Thiết bị này được cho là đã được lắp đặt tại nhà máy mới ở Yongin, hoàn thành vào tháng Mười năm ngoái
Samsung Electronics hiện nhập khẩu phần lớn mặt nạ trống EUV từ Hoya của Nhật Bản. Tuy nhiên, công ty đã gặp phải nhiều vấn đề về mua hàng trong quá khứ do các gián đoạn như động đất tại Nhật Bản. Mặc dù Hoya đã mở rộng sản xuất tại Singapore để giải quyết các vấn đề này, nhưng các mối lo ngại trong ngành công nghiệp bán dẫn vẫn còn tồn tại
Mặt nạ trống EUV có giá hàng chục triệu won mỗi tấm, trong khi các phiên bản cao cấp có thể vượt quá 100 triệu won. Samsung được cho là dự kiến tiết kiệm hàng chục tỷ won mỗi năm, cùng với thời gian giao hàng ngắn hơn, nếu S&S Tech có thể thành công trong việc địa phương hóa nguồn cung
"Tôi hiểu rằng S&S Tech hiện đang làm việc để cải thiện giảm sinh hạt bụi sau khi nhận phản hồi từ Samsung Electronics, một quan chức trong ngành cho biết. Có thể mất từ sáu tháng đến hơn một năm trước khi các đơn hàng sản xuất hàng loạt được phát hành."