The Informationによると、上海の国有企業が国産の浸水（イマージョン）DUVリソグラフィ装置の製造を開始した。2026年には約5台を生産し、2027年には約20台まで増やす計画だ。最初の出荷分は、SMIC、華虹半導体、Longsine Technologiesなどの主要ウェーハメーカーに納入される予定で、精度・安定性・プロセス適合性の検証が前提となる。部品の大半は国内調達だが、一部の重要部品は依然として日本のサプライヤーに依存している。装置の性能と製造品質はASMLの提供内容には及ばない。比較として、ASMLは2025年に浸水（イマージョン）DUVツールを約131台出荷している。
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